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当前分类:美国 BROOKS 流量计

SLA5800系列质量流量计和控制器

SLA5800 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器 型号 SLA5850 / SLA5860 / SLA5851 / SLA5861 / SLA5853 / SLA5863 SLA5800 系列的特点是高精度、高零点稳定性以及高重复性,而上述特性正是行业领先者对质量流量 […]

GF40 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器

型号 GF40,适用于多种气体和多种流量,采用布鲁克斯仪器独有 MultiFlo™ 技术的 GF40 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器非常适用于那些使用多种气体、需要频繁切换气体类型或是需要在保证气体测量和控制准确性的同时重新设定测量范围的系统、工艺和设 […]

5850E/5850i系列橡胶密封热式质量流量计和控制器

型号 5850E, 5850Ei / 5860E, 5860Ei / 5851E,5851 i / 5861E, 5861i / 5853E,5853 i / 5863E, 5863i 特点 长期零点稳定性,每年变动小于满量程的 0.2% 能够根据命令变化迅速进行流量响 […]

SLAMf 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器

型号 SLAMf50 / SLAMf60 / SLAMf51 / SLAMf61 / SLAMf53 / SLAMf63,无论是灰尘、湿度、温度极限或是冲洗条件下,SLAMf 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器均能够表现出经验证的 SLA5800 系列仪表和控制器的高精 […]

4850/4860橡胶密封热式质量流量计和控制器

型号 4850 / 4860,响应时间极快,适用于对时间要求严格的工艺,热式质量流量计和控制器的响应速度越快,工艺就越高效,生产效率越高。响应速度是 4800 系列的主要优势:该产品将基于 MEMS 的高级热传感器与独有的 PID 算法相结合以优化控制阀的响应速度,因此 […]

5700系列橡胶密封质量流量计

型号 5700,专门设计用于满足吹扫气体、过程分析和分析流量测定的需求:经济有效、稳定并且采用电子输出信号,因此非常适合替代涡轮流量计、可变面积流量计等其他体积测定设备。 特点 仅用于计量 流量范围宽 不锈钢接液材料 单侧电源输入 0-5 V 输出信号 优势 质量流量测 […]

GF135 系列金属密封热质量流量控制器

型号 GF135,使用 GF135 高级诊断式压力变化补偿型 (PTI) 质量流量控制器确保关键流量过程的准确控制并使通量最大化。半导体制造商可利用该产品实时验证过程气体流量准确性、检查泄漏情况并监视传感器稳定性同时无需将流量控制器从气路上拆除。GF135 PTI MF […]

GF125 系列金属密封热质量流量控制器和仪表

型号 GF125 / GF126,全能 MFC,GF125 系列产品是第二代多变量压力变化补偿型 (PTI) 金属密封质量流量控制器和仪表,有着超快的响应速度和超高的纯度。作为第一个将 PTI 质量流量控制技术引入市场的 GF125 系列产品最大限度降低了压力和温度波动 […]

GF100系列EtherCAT质量流量计

型号 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126,加强了拥有EtherCAT®的速度,最快速、最精准的MFC 特点 每年<满量程的±0.15%的长期零点稳定性 响应稳定时间 […]

GF100 系列金属密封热质量流量计

型号 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSL / GF121高纯度流路。出色的性能、可靠性和可重现性。GF100 系列金属密封质量流量控制器和仪表性能:快速响应和可重现的高纯度/超高纯度过程气体输送。专为半导体、MOCVD […]

GF80 系列金属密封热质量流量控制器

型号 GF80 / GF81设计采用与最畅销的 GF100 系列响应速度相同的传感器以及第四代 MultiFlo™ 专利技术,该产品绝对是高性价比运营的正确选择。另外,金属密封的 MFC 拥有 MultiFloTM 多气体/多量程功能所带来的全部优势,原因 […]

5850EM 系列金属密封热质量流量控制器

型号 5850EM / 5851EM超纯洁净体系,适用于高压应用,5850EM 系列金属密封热质量流量控制器的性能基于广泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC,可在高洁净环境下测量和控制高压气体流量并具有经验证的稳定性。该产品的金属密封结构和电镀抛光接液表面可确保出 […]

5850EMH系列高温质量流量控制计

型号 5850EMH / 5851EMH高温应用中超高纯表现,Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合出色的金属密封泄漏完整性,为高温气体测量和控制提供了最先进的性能,具有多种选择,允许最大的应用灵活性。5850EMH […]

9861 系列高温质量流量控制器

型号 9861,布鲁克斯仪器 9861 系列高温热质量流量控制器和仪表专为在高温相关苛刻条件下输送可冷凝前体和掺杂剂设计,该产品采用高纯度、无泄漏一体化金属流路,可确保兼容所有过程气体和蒸汽。获得专利的 IsoSensor™ 是一种稳定性极高的流量传感器, […]

Quantim® 系列 Coriolis 质量流量控制器

型号 QMBC2 / QMBM2 / QMBC3 / QMBM3 / QMBC4 / QMBM4,小流量 Coriolis 测定与控制的行业标准,在进行超低流量气液测定和控制时,布鲁克斯仪器的 Quantim® Coriolis 质量流量控制器和仪表可提供绝佳的准确性和 […]

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