9861 系列高温质量流量控制器 | 北京北方大河仪器仪表有限公司

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型号 9861，布鲁克斯仪器 9861 系列高温热质量流量控制器和仪表在高温相关苛刻条件下输送可冷凝前体和掺杂剂设计，该产品采用高纯度、无泄漏一体化金属流路，可确保兼容过程气体和蒸汽。 IsoSensor™ 是一种稳定性高的流量传感器，可兼容加热气体管线和烘干系统中苛刻的环境温度。IsoSensor™ 传感器的低漂移性能可使高温应用无需频繁重新调零和重新校准。

	9861
流量范围-满量程容量	3 sccm – 10 slm (N₂ equivalent)
表面抛光	4µ inch R_a
精度	±1% SP @ 35 – 100% FS ±0.35% FS @ <35% FS
重复性	< ±0.15% FS
响应时间-常闭	≤ 1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)
模拟通讯	0-5 Vdc
数字通讯	RS485L Protocol

特点

稳定的 IsoSensor™ 流量测量传感器
高纯度流路
远程控制电子元件（标配两个模拟电子连接器）
数字测量和控制架构

优势

传感器稳定性高，可保障长运行时间、减少维护工作并降低总体拥有成本
全金属接液流路可确保气体/蒸汽完整性和纯度
包括 20 引脚卡缘连接器和 9/15 引脚“D”连接器，可实现标准化并减少库存
强化准确性和过程控制

应用

光纤制造 – MCVD
硅材料半导体器件加工工艺

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