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SLA5800系列质量流量计和控制器SLA5800 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器 型号 SLA5850 / SLA5860 / SLA5851 / SLA5861 / SLA5853 / SLA5863 SLA5800 系列的特点是精度高、零点稳定性以及重复性高，而上述特性正是行业对质量流量测量和控 […] |
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GF40 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器型号 GF40，适用于多种气体和多种流量，采用布鲁克斯的 MultiFlo™ 技术的 GF40 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器非常适用于那些使用多种气体、需要频繁切换气体类型或是需要在保证气体测量和控制准确性的同时重新设定测量范围的系统、工艺和设施。该 […] |
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5850E/5850i系列橡胶密封热式质量流量计和控制器型号 5850E, 5850Ei / 5860E, 5860Ei / 5851E,5851 i / 5861E, 5861i / 5853E,5853 i / 5863E, 5863i 特点 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2% 能够根据命令变化迅速进行流量响 […] |
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SLAMf 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器型号 SLAMf50 / SLAMf60 / SLAMf51 / SLAMf61 / SLAMf53 / SLAMf63，无论是灰尘、湿度、温度或是冲洗条件下，SLAMf 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器均能够表现出 SLA5800 系列仪表和控制器的高精度特性和长期 […] |
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4850/4860橡胶密封热式质量流量计和控制器型号 4850 / 4860，响应时间快，适用于对时间要求严格的工艺，热式质量流量计和控制器的响应速度越快，工艺就越高效，生产效率越高。响应速度是 4800 系列的主要优势：该产品将基于 MEMS 的热传感器与 PID 算法相结合以优化控制阀的响应速度，因此使4800 […] |
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5700系列橡胶密封质量流量计型号 5700，专门设计用于满足吹扫气体、过程分析和分析流量测定的需求：经济有效、稳定并且采用电子输出信号，因此非常适合替代涡轮流量计、可变面积流量计等其他体积测定设备。 特点 仅用于计量 流量范围宽 不锈钢接液材料 单侧电源输入 0-5 V 输出信号 优势 质量流量测 […] |
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GF135 系列金属密封热质量流量控制器型号 GF135，使用 GF135 诊断式压力变化补偿型 (PTI) 质量流量控制器确保流量过程的准确控制并使通量。半导体制造商可利用该产品实时验证过程气体流量准确性、检查泄漏情况并监视传感器稳定性同时无需将流量控制器从气路上拆除。GF135 PTI MFC 将全金属接 […] |
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GF125 系列金属密封热质量流量控制器和仪表型号 GF125 / GF126， MFC，GF125 系列产品是多变量压力变化补偿型 (PTI) 金属密封质量流量控制器和仪表，有着快的响应速度和高的纯度。作为将 PTI 质量流量控制技术引入市场的 GF125 系列产品降低了压力和温度波动导致的过程气体流量变化。一台 […] |
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GF100系列EtherCAT质量流量计型号 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126，加强了拥有EtherCAT®的速度 特点 每年<满量程的±0.15%的长期零点稳定性 响应稳定时间: 300毫秒 R […] |
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GF100 系列金属密封热质量流量计型号 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSL / GF121高纯度流路。GF100 系列金属密封质量流量控制器和仪表性能：快速响应和可重现的高纯度/超高纯度过程气体输送。专为半导体、MOCVD 等其他气体流量控制应用设计， […] |
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GF80 系列金属密封热质量流量控制器型号 GF80 / GF81设计采用与 GF100 系列响应速度相同的传感器以及MultiFlo™ 技术，另外，金属密封的 MFC 拥有 MultiFloTM 多气体/多量程功能所带来的优势，原因是可用气体方面没有限制并且由于不会发生弹性体氧渗透而提升了气 […] |
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5850EM 系列金属密封热质量流量控制器型号 5850EM / 5851EM，适用于高压应用，5850EM 系列金属密封热质量流量控制器的性能基于广泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC，可在高洁净环境下测量和控制高压气体流量并具有经验证的稳定性。该产品的金属密封结构和电镀抛光接液表面可确保流量完整性并有 […] |
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5850EMH系列高温质量流量控制计型号 5850EMH / 5851EMH高温应用中高纯表现，Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合金属密封泄漏完整性，为高温气体测量和控制，具有多种选择，允许Z大的应用灵活性。5850EMH 系列的核心是稳定的传感器， […] |
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9861 系列高温质量流量控制器型号 9861，布鲁克斯仪器 9861 系列高温热质量流量控制器和仪表在高温相关苛刻条件下输送可冷凝前体和掺杂剂设计，该产品采用高纯度、无泄漏一体化金属流路，可确保兼容过程气体和蒸汽。 IsoSensor™ 是一种稳定性高的流量传感器，可兼容加热气体管线和 […] |
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Quantim® 系列 Coriolis 质量流量控制器型号 QMBC2 / QMBM2 / QMBC3 / QMBM3 / QMBC4 / QMBM4，小流量 Coriolis 测定与控制的行业标准，在进行超低流量气液测定和控制时，布鲁克斯仪器的 Quantim® Coriolis 质量流量控制器和仪表可提供准确性和零点稳 […] |
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