特点：
1、热式传感器
2、1%精度 100:1 量程比
3、一体化的阀、显示器及设定点
4、线性化输出(0-5 VDC, 4-20 mA)
5、单独的电源终端适配器
6、316 不锈钢 流体
7、符合NIST校准
8、低廉的价位

应用：
1、OEM
2、实验室
3、医学
4、过程控制
5、制药
6、泄漏检测
7、R & D
8、气体混合

MF系列气体质量流量计及控制器量程从 100到500 SLPM. 流体（接液部分） 结构为 316SS ，接口为 1/2″ FNPT.MF系列与GR系列一样具有多种电子选项：包括LCD显示，就地设定点等。

	GR系列	MF系列	HF系列	IL系列
材质	聚甲醛树酯 Viton 可选：316不锈钢	316SS（PH17-4） Viton	铝 Viton	316SS（PH17-4） Viton
输出信号	0-5V DC 线性 或4-20mA线性	0-5V DC 线性 或4-20mA线性	0-5V DC 线性 或4-20mA线性	0-5V DC 线性 或4-20mA线性
供电	24V DC标准，可选15V 115VAC，220VAC@500ma	24V DC标准，可选15V 115VAC，220VAC@500ma	24V DC标准，可选15V 115VAC，220VAC@500ma	24V DC标准，可选15V 115VAC，220VAC@500ma
精度	+/-1%FS（包括线性）	+/-1%FS（包括线性）	+/-1%FS（包括线性）	+/-1%FS（包括线性）
重复性	+/- 0.15% FS 或更好	+/- 0.15% FS 或更好	+/- 0.15% FS 或更好	+/- 0.15% FS 或更好
电气连接	9针 Sub”D”	9针 Sub”D”	9针 Sub”D”	9针 Sub”D”
输入信号	整体 or 0-5VDC	整体 or 0-5VDC	整体 or 0-5VDC	整体 or 0-5VDC
控制阀	电磁阀 NC	电磁阀 NC	电磁阀 NC	电磁阀 NC
量程	0-10SCCM-100SLPM	0-100SLPM-500SLPM	最大35SCFM	0-10SCCM，0-20SLPM
最大耐压	250PSIG	500PSIG	250PSIG	500PSIG
响应时间	1秒	1秒	1秒	1秒

温度系数	0.05%满量程/1℃或更好	0.05%满量程/1℃或更好	0.05%满量程/1℃或更好	0.05%满量程/1℃或更好
压力系数	0.01%满量程/PSIG或更好	0.01%满量程/PSIG或更好	0.01%满量程/PSIG或更好	0.01%满量程/PSIG或更好