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环境与气象仪器

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VSH系列超高真空真空计1000到5e-10 mbar

德国Thyracont斯拉特Smartline超高真空真空规VSH87D、VSH87DL、VSH87E、VSH88D、VSH88DL、VSH88E、VSH89D、VSH89DL、VSH89E。VSH(比VSM精度更高)Smartline 真空计绝压1000到5×10-10mbar从大气压到超高真空的绝对压力,数显真空计VSH皮拉尼/热阴极)都可以测量。微控制器可以自动控制两个真空传感器间的相互作用。Smartline真空计引领着在安全、精确、价廉的高端技术向前发展。

典型应用:
·分析仪器
·涂料厂和气相沉积
·溅射厂
·测量和控制超高真空
·真空炉
·过程控制
·空间模拟
优点:
·传感器测量范围广Pirani/Bayard Alpert
·Pirani自动控制热阴极传感器
·Pirani传感器可以保证热阴极在低压时的正常操作,延长使用寿命
·高精度和良好的重复性
·真空过程中热和电的干扰小
·测量单元体积小,例如VSH88D是20CM3
·Bayard-Alpert防风、涂钇双纤
·空气入侵不影响测量
·LED显示仪器状态和开关点
·传感器可更换
·Pirani和热阴级传感器的不同气体的校正因子可以校准压力读数
·可以连接Thyracont公司生产的2通道或4通道的显示器VD12/VD10
·RS485接口和其它模拟输出信号1.219-8.6V或EtherCAT
·通过按键或接口调整零点和大气压
·LCD显示(VSH88DL、VSH89DL)
·如果出现错误,屏幕闪烁红色,正常工作状态是绿色(VSH88DL,VSH89DL)
·和PLC连接方便
·数据可以远程传输(最远距离500米)
·波特率9.6kBd到115kBd
·金属外壳,结实耐用
·通过不锈钢小法兰DN 40 ISO-KF或conflat法兰DN 40 CF-F真空连接

 

技术参数
技术参数
测量原理:          Pirani/Bayard Alpert(依据气体不同)
真空接触材质:  不锈钢1.4307、Ni、W、PI、钇涂铱、玻璃
测量范围:           1000到5×10-10mbar(750到5×10-10torr),最大过压4bar
精度:                  1000到10mbar:<30%读数
10到1×10-8mbar:<10%读数
重复性:              ±2%(10到1×10-2mbar),5%(1×10-2到1×10-8mbar)
响应时间:          <200ms(开关BA发射电流时是2秒)
放射电流:          自动开关10μA,100μA,1mA,2mA
Degas:                正极通电加热
供电电压:           20到30VDC
电气连接:           VSH88D/DL,VSH89D/DL:SubD,15针,male,lockable
VSH88E,VSH89E:M12圆形接头,female,lockable
1x标准A,5针,2x密码D,4针
电流:                  最大8W,同时1Wf.degas和0.8Wf.EtherCAT/继电器/LCD
操作温度:          5到60℃
存储温度:          -40到65℃
最高烘烤温度:  法兰(电气分离)上的温度180℃
输出信号:           0到10VDC,测量范围1.219-8.6VDC,log.,0.6V/等级
负载电阻:           >10KΩ(VSH88D/DL,VSH89D/DL)
串行接口:            RS485:9.6kBit/s到115kBit/s,开关地址1-16
开关点:               2个开关继电器,50VAC/2A,30VDC/2A,最大60VA
真空连接:            DN 40 ISO-KF(VSH88),DN 40 CF-F(VSH89)
防护等级:            IP54(VSH88E,VSH89E),IP40(VSH88D/DL,VSH89D/D)
重量:                    约555克

订货代码:
·VSH88D
真空计Pirani/Bayert Alpert,1000到5×10-10mabr,DN 40 ISO-KF连接,输出0-10V log和RS485
·VSH88DL
同VSH88D,带显示
·VSH88E
同VSH88D,输出RS485和EtherCAT
·VSH89D
真空计Pirani/Bayert Alpert,1000到5×10-10mabr,DN 40 CF-F连接,输出0-10V log和RS485
·VSH89DL
同VSH89D,带显示
·VSH89E
同VSH89D,输出RS485和EtherCAT

配件:
·W1515002
带VD12和VD10的真空计VSH88D/DL和VSH89D/DL的连接线,线长2米
·W1515006
同W1515002,线长6米
·W1515020
同W1515002,线长20米
·B_VSH88
传感器探头,DN 40 ISO-KF,f.VSH88
·B_VSH89
传感器探头,DN 40 CF-F,f.VSH89

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